面射型激光半导体测试机
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产品名称: 面射型激光半导体测试机
产品型号: Model 58173-V
产品展商: Chroma
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简单介绍
致茂根据在LED晶圆特性检测设备上丰富的经验，提供*新一代58173-V面射形 激光晶圆的检测设备，保有LED上高速测试，高可靠度与可编程的优势，并考虑半导体激光使用特性，加入温控平台提供高低温的环境更符合使用者真实使用情况。
面射型激光半导体测试机
的详细介绍
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主要特色：
- 即时显示VCSEL晶圆特性图，并提供后端分析功能(Post Analysis)
- 可连结资料库分析并传送晶圆特性图形供晶圆分类机台使用
- 可测试非完整晶圆片，可测试单颗(Single)或矩阵式(Array)面射型激光
- *大可处理4吋晶圆
- 可切换手动或自动量测模式
- 较业界快速得量测移动时间
- 可搭配Probe-Card或探针使用
- 高解析度CCD定位确保每次量测的精准度，并在开始测试前扫描完整晶圆
- 可控制量测温度环境-40~120℃
- CW/Pulsed mode SMU 电压电流源
- 完整提供半导体激光特性测试
• L-I-V曲线 • ITH : 发光电流 • IOP : 操作电流 • VF : 顺向电压 • 光谱量测与分析 • Kink 检验 • Rollover 检验
- 提供一组TO 或不同封装型式治具，可定期进行光电参数的校正
致茂58173-V适合用于可见光或红外光通讯用面射型激光半导体测试，依照选择 不同的光侦测器即可符合不同波长的半导体激光测试。搭配积分球的量测，可 同时提供完整半导体激光的测试条件，例如LIV 曲线，不论是单颗面射型激光， 抑或是复杂的矩阵式结构；利用前期光学检测AOI辅助可确认半导体激光的尺寸 大小位置，确保每次的量测皆可准确与探针结合并执行测试；即时的量测数据 (Real-time) 可依照客户的需求选择性的显示于机台上方萤幕，确认样品的优劣与 好坏后，确定是否可直接进行量产测试，当晶圆检测完毕后，后端软体可依照使 用者需求产出对比图形(mapping)，以利下一段分类筛选的应用。
58173-V使用致茂54100系列TEC温控设备进行温度控制，范围可由-40~120℃，完 整的涵盖激光半导体的使用范围，搭配致茂专有的干燥技术，可确保半导体激光 在低温的谅测环境中不会产生水气凝结而影响测试数据。
累积致茂在PXI平台上多年的研发经验，搭配致茂52400系列双通道四象限的电流 电压源卡(SMU)，可提供连续性电流(CW)或脉冲式(Pulse)电流，使用者只需依照 激光功率大小选择适合的档位来进行测试。
