功率器件分析仪/曲线追踪仪

广泛的源范围与低电平精密测量功能相结合

• 适合功率器件表征的综合解决方案，高达 1500 A 和 10 kV
• 中等电流测量和高电压偏置（例如，500 mA，1200 V）
• μΩ 导通测量功能
• 高电压偏置时，可进行**的 sub-pA 电平电流测量

广泛的器件测量功能

• 可在高达 +/- 3 kV 直流偏置时执行电容测量
• 10μs 高功率脉冲测量
• 温度测量功能
• 高电压/强电流快速切换选件，适用于 GaN 电流崩塌效应表征

改进的测量效率

• 在高电压和强电流测量之间自动切换，无需重新布线
• 具有**互锁机制的标准测试夹具，可进行封装功率器件测试
• 已经过测试并支持高功率 200 A 晶圆上测试
• MS Windows EasyEXPERT 软件简化了数据管理和数据分析流程

可升级和可扩展的硬件体系结构

• 10 模块插槽
• 支持具有高达 6 个连接引脚的高功率器件

• B1505A 支持各种模块：高电压 SMU（HVSMU）、强电流 SMU（HCSMU）、超强电流（UHC）模块、超高电压（UHV）模块和高电压中等电流（HVMC）模块。B1505A 还支持：高功率 SMU（1 A/200 V）、中等功率 SMU（100 mA/100 V）、中等电流 SMU（1 A/30V 脉冲，100 mA/30V 直流）和多频电容测量单元（1 kHz – 5 MHz）。B1505A 的 10 插槽模块化主机支持您对其进行配置，以满足您的测量需求。

  B1505A 软件环境以 Microsoft® Windows® 7 操作系统为基础，包括曲线追踪仪，支持用户检测器件特征和探测器件故障。如同使用曲线追踪仪一样，B1505A 提供旋钮控制可变扫描功能，可对参数（例如击穿电压）进行实时测量。B1505A 还提供“示波器查看功能”，可直观地帮助操作人员优化应用于器件的电压和电流。测量设置信息和数据可自动存储到 B1505A 的内置硬盘，并复制到 USB 闪存和其他便携存储器件。将器件测量结果汇总之后，测量数据可轻松复制到工程报告中。

  强大的测试夹具解决方案对于确保操作人员**（由于生成的高电压和强电流）和支持各种功率器件封装类型极为重要。以前的传统曲线追踪仪受功率器件大小的限制，无法对某些功率器件进行测试，而且有时为了测试某一器件必须临时装配适配器。然而不论器件的大小或形状如何，B1505A 的测试夹具可连接各种器件，例如功率 MOSFET、二极管和 IGBT 等。这可以通过大型测试夹具适配器和定制的测试夹具模块来实现。此外，测试夹具的内置互锁机制可确保在测试器件过程中**地应用高电压和强电流。

  安捷伦可提供一个转换套件，使现有的 B1500A 用户将其 B1500A 主机转换为 B1505A 主机。这使当前的 B1500A 用户能够以较低的成本扩展现有仪器的电压和电流测量功能。

  模块选型指南

  测量资源	所需模块/扩展器	所需插槽数	主要技术指标
  高功率 SMU（HPSMU）	B1510A HPSMU	2	高达 200 V、1 A，10 fA 电流分辨率
  中等功率 SMU（MPSMU）	B1511A MPSMU	1	高达 100 V、100 mA，10 fA 电流分辨率
  强电流 SMU（HCSMU）	B1512A HCSMU	2	20 A/20 V（脉冲）；1 A/40 V（直流）*1
  高电压 SMU（HVSMU）	B1513B HVSMU	2	1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脉冲和直流）
  中等电流 SMU（MCSMU）	B1514A MCSMU	1	1 A/30 V（脉冲）；100 mA/30 V（直流）
  多频电容测量单元（MFCMU）	B1520A MFCMU	1	1 kHz 至 5 MHz；0 至 ±25 V，使用 MFCMU 内部直流偏置 0 至 ±3000 V，使用 HVSMU 和高电压偏置 T 型接头
  高电压中等电流单元（HVMCU）	M1266A HVSMU 电流扩展器、 B1513B HVSMU 和两个 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	4 - 6	±1500 V / 2.5 A（脉冲），±2200 V/ 1.1 A（脉冲）
  超强电流单元（UHCU）	N1265A 超强电流扩展器/夹具 和两个 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU	2 - 4	1500 A/ 60 V（脉冲），22.5 kW 峰值功率、 ±500 A / 60 V（脉冲），7.5 kW 峰值功率
  超高电压单元（UHVU）	N1268A 超高电压扩展器 和两个 B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 和 B1514A MCSMU 组合	2 - 3	10 kV/10 mA（直流），10 kV/ 20 mA（脉冲）

  *1. 使用两个 HCSMU 和双 HCSMU 组合适配器，当前的范围可扩展至 40 A/20 V（脉冲）和 2 A/40 V（直流）。

  Microsoft 和 Windows 是微软公司在美国的注册商标。